手持式激光清洗机,包括箱体和激光清洗手柄,所述箱体的表面设有电量指示灯,散热区,电源接口,收线槽,光纤接口和收线开关,所述箱体的内腔设有蓄电池,光纤激光器,控制主板和电机,所述光纤接口插接有外部光纤连接线的一端,所述外部光纤连接线的另一端插接有激光清洗手柄.本装置在使用完毕后,可将外部光纤连接线的两端分别从光纤接口和激光清洗手柄上拔出,通过收线夹将外部光纤连接线的一端固定,按下收线开关控制电机旋转带动旋转轴旋转将外部光纤连接线在收线盘缠绕收纳,将外部光纤连接线的另一端固定在第二收线夹上,将激光清洗手柄放入手柄放置槽,并通过手柄放置槽将激光清洗手柄放置固定.
用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置及清洗方法,保证半导体激光器芯片在清洗环节中不受损伤的前提下,提高清洁效果.该装置包括:用于吸附晶圆的载台,与载台背面密封固定的后盖以及与后盖固定的手柄,载台正面设置有若干吸附孔,手持激光清洗机厂家,后盖与载台闭合形成与所述若干吸附孔连通的腔室;手柄内具有中空管路,中空管路一端连通所述腔室,手持激光清洗机价格,另一端通过软管接真空泵;使用时,昔阳手持激光清洗机,操作者一只手持该装置的手柄,在不锈钢的带有废液回收的保护罩中,另一只手持喷对晶圆表面进行喷淋,既保证了湿法有机清洗工艺的有效性,又降低了使用喷清洗的碎片率,提高了产品的良品率及生产的效率
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